2021-06-10
本文由廣州鼎悅電子分享歐姆龍B5W-LB限定反射型傳感器在晶圓測試領(lǐng)域的應(yīng)用，那么首先我們來了解下什么是晶圓測試？晶圓測試是對晶片上的每個晶粒進(jìn)行針測，在檢測頭裝上以金線制成細(xì)如毛發(fā)之探針，與晶粒上的接點接觸，測試其電氣特性，不合格的晶粒會被標(biāo)上記號，而后當(dāng)晶片依晶粒為單位切割成獨(dú)立的晶粒時，標(biāo)有記號的不合格晶粒會被洮汰，不再進(jìn)行下一個制程，以免徒增制造成本。
下面正式帶大家了解歐姆龍B5W-LB限定反射型傳感器在晶圓測試的應(yīng)用：
特點：
1、全性卓越的LED式
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險。B5W-LB成功使用LED光源。確保操作人員安全。
2、亦可檢測玻璃晶圓
B5W-LB以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
3、可檢測涂氮晶圓
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測。
4、0.5ms的高速反應(yīng)
實現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。
5、基于歐姆龍軟技術(shù)的高精度位置檢測
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。B5W-LB的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
6、安裝方式靈活
傳感器可以從正下方引出電纜，備有兩向螺釘安裝孔位，可根據(jù)實際情況靈活安裝。
7、內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度13mm×厚度8.4mm×進(jìn)深20mm，質(zhì)量約為1.6g的小巧、輕盈型。
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